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產品簡介
MHS400V-4P探針冷熱臺是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。這款探針冷熱臺擁有高精度的探針位移平臺，具有良好的真空性能和精準的溫控系統。
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溫度范圍： -196℃~600℃
加熱區： φ30mm
探針行程： 14mm
探針位移精度 1μm
探針針尖直徑（默認） 100μm
物鏡工作距離： 15mm
通光孔直徑： 2mm
最大升溫速率： 150℃/min
最慢升溫速率：0.1℃/min
觀察窗： φ40mm
溫控精度： 0.1℃
極限真空： 1pa（機械泵）,5×10^(-3)pa(分子泵)
支持反射/透射模式
| 型號 | MHS300V-4P | MHS400V-4P | MHS600G-4P | |
| 溫控模塊 | 加熱/制冷方式 | 電阻加熱，液氮制冷 | ||
| 溫控范圍 | -190~300°C* | -190~400°C* | -190~600°C* | |
| 溫度穩定性 | ±0.1°C | |||
| 溫度分辨率 | ±0.1°C | |||
| 最大升溫速率 | 0~100°C/min (可定點/程序段控溫) | |||
| 溫控方式 | PID | |||
| 溫度傳感器 | PT100 | |||
| 光學特性 | 光路 | 反射/透射光路（可選） | ||
| 視窗材質 | 石英玻璃* | |||
| 視窗尺寸 | φ40mm* | |||
| 視窗厚度 | 0.5mm* | |||
| 物鏡工作距離 | 15mm* | |||
| 透光孔 | φ2mm* | |||
| 電學特性 | 探針 | 移動探針模組x4 *,手動調整XYZ | ||
| 探針行程 | 13mm | |||
| 探針位移精度 | 1μm | |||
| 探針接口 | SMA 接口x4* | |||
| 探針直徑 | 10 / 50 / 100 μm* | |||
| 結構特性 | 樣品臺尺寸 | φ30mm* | ||
| 樣品臺材質 | 純銀* | |||
| 外形尺寸 | 180x112x26* | |||
| 樣品腔高度 | 3mm* | |||
| 腔室 | 氣密 | |||
| 外殼冷卻 | 循環水 | |||
| 基本配置 | 冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件 | |||
| 選配 | 電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統/其他定制 | |||
| 備注 | 以上為默認參數 * 為可定制項 | |||
| 其他可選型號 | 按需求進行配置 | |||
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務熱線： 021-61052039
公司地址： 上海市浦東新區疊橋路456弄創研智造C7區五樓
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